真空除气储存柜设备简介
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：
1. 对储存箱室抽真空；
2. 控制储存箱室恒压稳定；
3. 具备加热烘烤功能；
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
6. 具备自动和手动两种操作模式；
7. PLC控制，触摸屏操作
真空除气炉的构成介绍
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。
真空箱：采用304不锈钢材质制造，分为上中下三个独立的真空箱室，其内表面在加工后经除油、电抛光处理，保证了较少的藏气，提高了真空箱室的抽空效率和极限真空。真空箱室外部有加强筋，保证真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个Φ100石英观察窗，真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接，方便快捷，并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门，氟胶圈型式密封，向右侧侧开门。
真空除气炉的构成介绍
真空测量装置：采用复合真空计，使测量更加准确。
加热烘烤组件：采用铠装管加热，包括工件托盘及支架，箱室顶部中心测温。功率：9.5千瓦，控制精度：±1℃。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵：选用涡旋干式真空泵，无油运行，可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵：选用脂润滑复合分子泵，可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
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